APT原装进口匀胶旋涂仪SPIN150i-NPP
详细信息
| 品牌:APT | | 型号:SPIN150i-NPP | | 加工定制:否 | |
| 外形尺寸:274 (w) x 250 (h) x 451 (d) mm | | 重量:20 ㎏ | | 用途:光刻工艺中的旋转涂胶后的软烘 | |
APT匀胶旋涂仪
Spin Processor匀胶旋涂仪POLOS系列
德国POLOS系列匀胶旋涂仪提供了先进、可重复的工艺流程控制方案.
一个高效的空气动力学腔体确保旋涂的高度均匀性,天然聚丙烯
(NPP)或聚四氟⼄乙烯(PTFE)材质,整机无⾦金属裸露,无交叉污染,
易清洗维护,为用户带来全新的操作体验.
操作控制器可拆卸,全尺寸的触摸屏,可戴手套操作,耐化学性。
系统参数表
|
SPIN150i |
SPIN200i |
程序段数: |
无限制 |
无限制 |
操作步数: |
无限制 |
无限制 |
旋转速度: |
0-12,000 rpm ±1rpm steps |
0-12,000 rpm ±1rpm steps |
旋转精度: |
± 0.1 rpm |
± 0.1 rpm |
旋转方向: |
顺时针、逆时针、交换摆动 |
顺时针、逆时针、交换摆动 |
*大加速度: |
30,000 rpm/sec |
30,000 rpm/sec |
旋转时间: |
无限制*, ± 0.1 seconds steps |
无限制*, ± 0.1 seconds steps |
基片范围: |
160mm 直径or 4ʺ″ ⽅片 |
260 mm 直径or 6ʺ″ ⽅片 |
腔体直径: |
202 mm |
302 mm |
外形尺寸: |
274 (w) x 250 (h) x 451 (d) mm |
380 (w) x 307 (h) x 559 (d) mm |
匀胶旋涂仪SPIN PROCESSOR
1、运行条件
外壳材质:天然聚丙烯(NPP)或聚四氟乙烯(PTFE)
腔体材质:天然聚丙烯(NPP)或聚四氟乙烯(PTFE)
外部连接:通过USB连接;
输入电压:200-240VAC、50/60 ;
功率消耗:*⼤大500w
*大电流:2,5A
真空吸附:-65kPa(-19inchHg),≥80lpm,Tube OD Ø8mm
马达保护:20-50kPa,2-5l/min,Tube OD Ø 6mm(可关闭)
排废连接:1” M-NPT
- 清晰可见的工艺处理过程
可拆卸,与主机分离的多功能控制器
每⼀步运⾏行的实时参数,看得⻅用户常为在工艺处理过程中不能⾃自由调节交互
处理⽽而苦恼。
全彩触摸屏界⾯面,所见即所得
操作安全,相当重要
坚固的带有铰链的防护盖板,具有良好的操作⾓角度及电磁阀安全锁定。
在程序结束直到速度完全达到0 rpm或在断电情况下才可以开启
保证盖板上残留的化学物质安全地进⾏行系统排放
钢化玻璃盖不会起雾或刮伤,保持清晰,便于看到你的实验过程
过程控制和结果分析,不可或缺
为了提高工艺处理的可重复性,实时记录下每⼀次⼯艺过程的实际运⾏行数据,并可存储重复调用,达到近乎完全一致的可重复性
良好的密封保护电机和控制电⼦子产品免受的化学污染
- 可选配件
1)腔体内衬
衬垫为PET材质,0.5mm厚,透明,防静电(108 - 1010Ω)防⽌止室中的静电荷堆积
2)自动滴胶控制单元
可快速便捷地安装在注射器⽀支架上,并将其连接到3个可编程中的⼀个
3)注射器套件
注射器量筒、针头和活塞
4)中央式注射器夹
⽤用于单或三针注射器
5)脚踏开关
⽤用脚控制;控制程序和真空的启动/停⽌止
6)中心对准⼯工具
易⽤用的对准⼯工具,可根据不同⼤大⼩小可调节
APT匀胶旋涂仪
Spin Processor匀胶旋涂仪POLOS系列
德国POLOS系列匀胶旋涂仪提供了先进、可重复的工艺流程控制方案.
一个高效的空气动力学腔体确保旋涂的高度均匀性,天然聚丙烯
(NPP)或聚四氟⼄乙烯(PTFE)材质,整机无⾦金属裸露,无交叉污染,
易清洗维护,为用户带来全新的操作体验.
操作控制器可拆卸,全尺寸的触摸屏,可戴手套操作,耐化学性。
系统参数表
|
SPIN150i |
SPIN200i |
程序段数: |
无限制 |
无限制 |
操作步数: |
无限制 |
无限制 |
旋转速度: |
0-12,000 rpm ±1rpm steps |
0-12,000 rpm ±1rpm steps |
旋转精度: |
± 0.1 rpm |
± 0.1 rpm |
旋转方向: |
顺时针、逆时针、交换摆动 |
顺时针、逆时针、交换摆动 |
*大加速度: |
30,000 rpm/sec |
30,000 rpm/sec |
旋转时间: |
无限制*, ± 0.1 seconds steps |
无限制*, ± 0.1 seconds steps |
基片范围: |
160mm 直径or 4ʺ″ ⽅片 |
260 mm 直径or 6ʺ″ ⽅片 |
腔体直径: |
202 mm |
302 mm |
外形尺寸: |
274 (w) x 250 (h) x 451 (d) mm |
380 (w) x 307 (h) x 559 (d) mm |
匀胶旋涂仪SPIN PROCESSOR
1、运行条件
外壳材质:天然聚丙烯(NPP)或聚四氟乙烯(PTFE)
腔体材质:天然聚丙烯(NPP)或聚四氟乙烯(PTFE)
外部连接:通过USB连接;
输入电压:200-240VAC、50/60 ;
功率消耗:*⼤大500w
*大电流:2,5A
真空吸附:-65kPa(-19inchHg),≥80lpm,Tube OD Ø8mm
马达保护:20-50kPa,2-5l/min,Tube OD Ø 6mm(可关闭)
排废连接:1” M-NPT
- 清晰可见的工艺处理过程
可拆卸,与主机分离的多功能控制器
每⼀步运⾏行的实时参数,看得⻅用户常为在工艺处理过程中不能⾃自由调节交互
处理⽽而苦恼。
全彩触摸屏界⾯面,所见即所得
操作安全,相当重要
坚固的带有铰链的防护盖板,具有良好的操作⾓角度及电磁阀安全锁定。
在程序结束直到速度完全达到0 rpm或在断电情况下才可以开启
保证盖板上残留的化学物质安全地进⾏行系统排放
钢化玻璃盖不会起雾或刮伤,保持清晰,便于看到你的实验过程
过程控制和结果分析,不可或缺
为了提高工艺处理的可重复性,实时记录下每⼀次⼯艺过程的实际运⾏行数据,并可存储重复调用,达到近乎完全一致的可重复性
良好的密封保护电机和控制电⼦子产品免受的化学污染
- 可选配件
1)腔体内衬
衬垫为PET材质,0.5mm厚,透明,防静电(108 - 1010Ω)防⽌止室中的静电荷堆积
2)自动滴胶控制单元
可快速便捷地安装在注射器⽀支架上,并将其连接到3个可编程中的⼀个
3)注射器套件
注射器量筒、针头和活塞
4)中央式注射器夹
⽤用于单或三针注射器
5)脚踏开关
⽤用脚控制;控制程序和真空的启动/停⽌止
6)中心对准⼯工具
易⽤用的对准⼯工具,可根据不同⼤大⼩小可调节
SPIN150i-NPP
SPIN200i-NPP