德国PI 光纤定位常用P-752高精度纳米定位平台

德国PI 光纤定位常用P-752高精度纳米定位平台

多年来，PI的产品一直以高品质和创新技术而著称。在提供*佳产品质量的同时，
PI更为用户提供创新的技术服务和*佳的解决方案。从精密加工到数字与模拟控制
电路，从亚纳米级的电容位置传感器到独创的PICMA 压电陶瓷促动器，PI已掌握全
套关键技术，强大的技术实力推动着微米纳米定位技术不断地向前沿发展，也使得
PI成为全球众多高科技企业、*实验室的合作伙伴。

今天，无论是在计量、显微，生命科技，还是激光技术，精密加工技术；无论是半
导体科技，数据存储技术，还是光电子/光纤，天文等领域，PI的产品和技术正得
到越来越广泛的应用，也赢得了越来越广泛的赞誉。



PI（Physik Instrumente）纳米定位平台
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命 
的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。
PICMA促动器的使用寿命比传统 的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现
无故障运行1000亿个循环。

P-752高精度纳米定位平台
§ 分辨率0.1纳米
§ 快速响应
§ 行程达35微米
§ 电容式传感器带来*高线性度
§ 无摩擦柔性铰链导向可实现极高的运动 精度
§ PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿 命
 
应用领域
§ 扫描显微镜
§ 测量技术
§ 测试程序和质量保证
§ 光子
§ 光纤定位
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。
PICMA促动器的使用寿命比传统 的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现
无故障运行1000亿个循环。
带电容式传感器，实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、
长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能
力，且它们对chong击和振动不敏感。 它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围
内工作。
自动配置和快速部件更换
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部
件的SubD连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会
使用这些数据。
直接位置测量带来*大精度
运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现*
jia的重复精度、优异的稳定性和刚性 、快速响应控制。
订购信息
P-752.11C 高动态压电陶瓷纳米定位系统，15微米，直接位置测量，电容传感器，
LEMO连接器
P-752.1CD 高动态压电陶瓷纳米定位系统，15微米，直接位置测量，电容传感器，
Sub-D连接器
P-752.21C 高动态压电陶瓷纳米定位系统，30微米，直接位置测量，电容传感器，
LEMO连接器
P-752.2CD 高动态压电陶瓷纳米定位系统，30微米，直接位置测量，电容传感器，
Sub-D连接器

PI在自治结构单元（也称分形）中进行制造。每个分形负责自己的产品线，并拥有
所有必要的技能和生产手段。它独立运作，并把控从订单接收和物料采购到装配和
质量检验再到发运的所有过程。

各责任区的关键数据简化了测量，并在必要时对生产过程中的所有活动进行校正。

分形内部的计划和生产控制侧重基于需求的生产原则和生产过程的持续改进
(KAIZEN)。制造单元的所有目标和流程均源自PI集团的公司目标，并与基本准则相
结合，例如，集成管理系统。


在多个生产基地，PI都具有在无尘室条件下进行产品制造和质量鉴定的能力。这种
能力还在根据市场需求不断拓展和提高。

根据不同位置的工艺流程，PI或其合作伙伴能按照规定清洁每个位置的零件和产品
，然后检查清洁结果，确认是否存在颗粒污染并在必要时确认有无其他类型的污染
。

经校准的颗粒测量装置使PI能按照ISO 14644-1的规范监控无尘室的质量。

PI还可测量操作条件下其自身产品产生的颗粒的数量。




PI纳米定位压电柔性铰链平台

PI的压电陶瓷柔性铰链平台将亚纳米级分辨率和导向精度以*小串扰相结合。这使
得其特别适用于计量学中的应用、超高分辨率显微镜、干涉测量或半导体芯片生产
的检测系统。压电陶瓷柔性铰链平台可用于毫秒稳定精密定位和动态扫描，频率高
达几百赫兹，多达六自由度。

拥有专利的传感器设计、无摩擦柔性铰链导向和长使用寿命的PICMA®压电陶瓷促动
器独特地组合在一起，带来了优异、坚实的机械部件。压电陶瓷运动控制器支持定
位和扫描性能优化，可通过数字或模拟接口和轻松编程实现简易集成。



PI微型平台

小型平台和操纵器在空间受限的应用中必不可少， 包括用于测量和医药设备的移
动应用、工业微装配或超高真空和无磁性环境等条件中的研究应用。

拥有专利的压电电机技术可实现特定的集成解决方案。由于精度仅受集成式传感器
的限制，所有压电电机解决方案都可实现纳米以下的高分辨率 。静止状态下自锁
，无能量消耗，因而特别适用于一劳永逸型应用。从机架式型号至OEM模块再到用
于集成的智能芯片，多种型式的驱动器和运动控制器可供货。



德国PI 光纤定位常用P-752高精度纳米定位平台